Targets mit Cu-Backing-Plates
| Eigenschaft | Wert | Beschreibung | beschreibung_2 |
|---|---|---|---|
| Targetwerkstoffe | Keramiken, Metalle, Legierungen, Sonderwerkstoffe auf Anfrage | ||
| Ausführungen | Planar, Rund (Rotatables), Sondergeometrien | ||
| Lötservice | Targets with Cu-Backing-Plates | ||
| Tiegel | Ta, Mo, W |
Auf Kundenwunsch können gebondete Targets angeboten werden. Üblicherweise werden diese mit Indium oder im Vakuum gelötet. Mit der von Euromat entwickelten S-Bond®-Technik können Targets bei 250°C gebondet werden. Die gebondeten Targets können dann bis 175°C thermisch belastet werden.