Eigenschaft | Wert |
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Targetwerkstoffe | Keramiken, Metalle, Legierungen, Sonderwerkstoffe auf Anfrage |
Ausführungen | Planar, Rund (Rotatables), Sondergeometrien |
Lötservice | Targets with Cu-Backing-Plates |
Tiegel | Ta, Mo, W |
Auf Kundenwunsch können gebondete Targets angeboten werden. Üblicherweise werden diese mit Indium oder im Vakuum gelötet. Mit der von Euromat entwickelten S-Bond®-Technik können Targets bei 250°C gebondet werden. Die gebondeten Targets können dann bis 175°C thermisch belastet werden.